Rendahnya kemampuan literasi sains peserta didik dipicu oleh karakteristik mata pelajaran kimia yang kompleks dan membutuhkan kemampuan matematis yang baik seperti materi termokimia. Kondisi tersebut mendorong peneliti untuk mengembangkan e-LKPD berbasis STEM pada materi termokimia untuk meningkatkan kemampuan literasi sains peserta didik. Tujuan penelitian ini adalah untuk mengukur validitas, respons dan peningkatan kemampuan literasi sains peserta didik. Penelitian ini merupakan penelitian RnD (Research and Development) menggunakan model ADDIE (Analyze, Design, Develop, Implementation, Evaluation). Subjek dalam penelitian adalah 30 peserta didik kelas XI-E MAN 2 Kota Semarang. Teknis analisis data menggunakan formula Aiken’s V untuk menguji validitas ahli, perhitungan persentase untuk menganalisis respons peserta didik dan N-gain untuk mengukur peningkatan literasi sains. Produk yang dihasilkan berupa media pembelajaran e-LKPD berbasis STEM pada materi termokimia untuk meningkatkan kemampuan literasi sains peserta didik. Hasil validasi ahli media menunjukkan nilai 0,91 dan ahli materi 0,90 dengan kategori validitas yang tinggi. Persentase respons peserta didik sebesar 82,16% dengan kategori respons sangat baik. Peningkatan literasi sains sebesar 0,61 yang termasuk dalam kategori sedang. Berdasarkan hasil tersebut, dapat dinyatakan bahwa media e-LKPD berbasis STEM pada materi termokimia dapat digunakan dalam kegiatan pembelajaran.