Pelanggaran yang dilakukan santri erat kaitannya dengan kesadaran dan kepatuhan mereka terhadap aturan tata tertib yang berlaku. Ma’had menerapkan metode ta’zir dengan berbagai bentuk untuk mengatasi pelanggaran santri. Penelitian ini bertujuan untuk: (1) Mengetahui metode ta’zir dan pelaksanaannya pada santri putri di Ma’had Al-Jami’ah UIN Walisongo Semarang, serta (2) Mendeskripsikan relevansi penerapan tazkiyatun nafs dalam ta’zir ibadah sebagai upaya melatih kedisiplinan santri. Penelitian ini menggunakan pendekatan kualitatif deskriptif dengan metode pengumpulan data melalui wawancara dan dokumentasi. Subjek penelitian meliputi kepala pengasuh, musyrifah, haiahtut tahkim, serta santri yang pernah menjalani ta’zir. Adapun teknik analisis data yaitu reduksi data, penyajian data, dan penarikan kesimpulan dan verifikasi. Keabsahan data yang digunakan yaitu triagulasi metode dan triagulasi sumber.
Hasil penelitian menunjukkan bahwa metode ta’zir di Ma’had mencakup tiga bentuk, yaitu ta’zir verbal, ta’zir fisik, dan ta’zir ibadah, yang diklasifikasikan dalam kategori ringan, sedang, dan berat. Pelaksanaan ta’zir dilakukan secara terstruktur melalui tahapan pengawasan dan pendataan pelanggaran, sidang mahkamah untuk klarifikasi, serta pelaksanaan ta’zir dengan pendampingan musyrifah. Proses ini tidak hanya sebagai sanksi perbaikan, tetapi juga diarahkan sebagai sarana pembinaan spiritual melalui penerapan tazkiyatun nafs yang mencakup konsep takhalli, tahalli dan penanaman nilai muraqabah.
Implementasi tazkiyatun nafs dalam pembinaan ta’zir terutama ibadah terbukti lebih mendorong pemahaman makna spiritual dari aturan dan ta’zir yang santri jalani, seperti menunjukkan perubahan perilaku positif berupa lebih introspeksi diri, peningkatan kualitas beribadah dan rasa tanggung jawab, serta peningkatan kedisiplinan. Meskipun demikian, penerapan tazkiyatun nafs dalam ta’zir ibadah masih menghadapi kendala, seperti perbedaan pemahaman spiritual santri serta tuntutan adaptasi terhadap aktivitas Ma’had dan akademik setiap individu. Proses ini menunjukkan bahwa pembinaan berbasis tazkiyatun nafs cukup efektif, namun memerlukan penerapan yang konsisten dan berkelanjutan.