Pengukuran mikrotremor bertujuan untuk mengetahui nilai ketebalan lapisan sedimen (h), litologi lapisan sedimen, dan nilai kerentanan gempa (Kg). Pemetaan dari nilai tersebut dapat digunakan untuk mengidentifikasi kondisi bawah permukaan yang rawan terhadap gempa. Pengukuran mikrotremor dilakukan di kampus UIN Walisongo Semarang, menggunakan instrumen Velbox SL06. Pengukuran pada zona pertama berjumlah 13 titik, pada zona kedua berjumlah 11 titik, dan pada zona ketiga berjumlah 15 titik. Data pengukuran dianalisis menggunakan metode Horizontal to Vertical Spectral Ratio (HVSR). Dalam analisis HVSR akan diperoleh nilai frekuensi dominan (f0) dan amplifikasi (A). Hasil inilah yang digunakan untuk analisis lebih lanjut dalam menentukan ketebalan sedimen (h), litologi lapisan sedimen, dan kerentanan gempa (Kg). Hasil penelitian menunjukkan zona pertama memiliki ketebalan lapisan sedimen (h) 5,9 m sampai 175,78 m, nilai kerentanan gempa (Kg) 0,05 sampai 3,12 dengan dengan kategori menengah, dan diprediksi tersusun dari batu pasir, lempung, lumpur, dan terdapat sedimentasi delta. Zona kedua memiliki ketebalan lapisan sedimen (h) 10,6 m sampai 30,23 m, nilai kerentanan gempa (Kg) berkisar 0,13 hingga 2,35 dengan kategori rendah, dan diprediksi tersusun dari batu pasir dan lempung. Zona ketiga memiliki ketebalan lapisan sedimen (h) 5,77 m sampai 30,89 m, nilai kerentanan gempa (Kg) berkisar 0,17 hingga 0,76 dengan kategori rendah, dan diprediksi tersusun dari batuan tersier atau batuan keras, batu pasir, dan lempung.