Penelitian ini bertujuan untuk membuktikan validitas dan reliabilitas instrumen penilaian kinerja guru di pesantren. Metode yang digunakan dalam penelitian ini adalah penelitian pengembangan yang diadaptasi dari mardhapi. Penelitian ini dilakukan di pondok pesantren modern Assalaam dan pondok pesantren modern Imam Syuhodo dengan subyek penelitian sebanyak 190 peserta didik. Karakteristik instrumen penilaian yang dikembangkan didasarkan pada validitas isi, validitas konstruk, dan reliabilitas. Validitas isi didasarkan pada data hasil penilaian expert judgment yang dianalisis dengan formula V Aiken. Validitas konstruk dibuktikan dengan second order Confirmatory Factor Analysis (CFA), sedangkan reliabilitas instrumen diestimasi menggunakan koefisien Omega atau Mc.Donalt yang dihitung berdasarkan nilai dari Lisrel dan koefisien Alpha cronbach. Hasil penelitian menunjukkan bahwa, 1) instrumen penilaian kinerja guru di pesantren terdiri dari empat kompetensi guru yaitu kompetensi pedagogik, kompetensi kepribadian, kompetensi sosial dan kompetensi profesional. Instrumen ini memiliki 17 indikator dan 52 butir, yang tersebar di kompetensi pedagogik 14 butir, kompetensi kepribadian 21 butir, kompetensi sosial 8 butir dan kompetensi profesional 9 butir. 2) instrumen pengukuran penilaian kinerja guru di pesantren yang dikembangkan memiliki validitas isi, validitas konstruk, dan reliabilitas yang tinggi dan baik sehingga layak, valid dan reliabel untuk digunakan. Model penilaian ini sudah memenuhi persyaratan pengujian atau telah diuji coba sehingga model ini dapat digunakan sebagai standar penilaian untuk kinerja guru di pesantren.