Pemahaman konsep merupakan syarat bagi siswa untuk mengetahui konsep yang benar dan menjawab dengan benar. Siswa yang tidak memahami konsep ialah ketika siswa memberikan jawaban yang salah atau benar, tetapi mereka kurang memahami konsep yang sebenarnya. Ketidaksesuaian konsep berdampak pada pemahaman konsep yang disebut dengan miskonsepsi. Tes diagnostik digunakan untuk mengidentifikasi adanya miskonsepsi siswa terhadap suatu konsep. Penelitian ini bertujuan untuk mengembangan produk instrumen tes diagnostik five tier pada materi stoikiometri. Jenis penelitian menggunakan pendekatan Research and Development (R&D). Teknik analisis yang digunakan diantara lain dengan melakukan uji validitas, uji reliabilitas, uji tingkat kesukaran, dan uji daya beda. Uji validitas dilakukan untuk menguji kelayakan butir soal oleh validator ahli. Hasil analisis uji validasi menunjukkan bahwa instrumen valid dan dinyatakan layak digunakan pada skala kecil dengan menggunakan teknik Aiken yang ditunjukkan pada indeks Aiken lebih dari 0,80. Subjek pada penelitian ini menggunakan teknik purposive sampling. Subjek pada penelitian digunakan untuk menganalisis uji validasi, reliabilitas, daya pembeda, dan tingkat kesukaran instrumen. Hasil uji validasi diperoleh 15 soal valid. Hasil analisis uji reliabilitas diperoleh sebesar 0,8. Instrumen terdiri dari 25 soal diantaranya memiliki 7 butir soal tingkat sukar yang cukup dan memiliki 17 butir soal daya pembeda yang cukup serta 3 butir soal daya beda yang baik. Hasil analisis interpretasi five tier test diperoleh data sebanyak 52,86% siswa mengalami miskonsepsi, 3,14% siswa paham, 6,71% siswa hampir paham, 14,43% siswa kurang paham, 20,14% siswa mengalami tidak paham materi.