Penelitian ini mengembangkan instrumen tes diagnostik five tier multiple choice pada materi konsep laju reaksi untuk mendeskripsikan karakteristik, menentukan validitas dan reliabilitas berdasarkan hasil uji coba instrumen, serta menjabarkan profil miskonsepsi dan penyebab miskonsepsi siswa SMA N 8 Semarang. Subjek penelitian uji coba instrumen yaitu 32 siswa kelas XI MIPA 4 dan subjek uji interpretasi instrumen yaitu 34 siswa kelas XI MIPA 1 SMA N 8 Semarang. Teknik pengumpulan data yang dilakukan adalah studi literaur dan lembar instrumen tes diagnostik. Instrumen yang digunakan merupakan tes diagnostik bertingkat lima dengan bentuk naskah soal untuk mengidentifikasi miskonsepsi materi laju reaksi pada siswa. Uji validitas empiris pada uji coba instrumen menunjukkan 20 soal pada instrumen tes diagnostik valid. Reliabilitas instrumen senilai 0,883. Kategori tingkat kesukaran soal terdiri atas 20 soal sedang. Tingkat daya pembeda yang diperoleh yaitu 20 butir soal diterima tanpa perbaikan. Berdasarkan interpretasi konsepsi siswa pada materi konsep laju reaksi, ditemukan 13% miskonsepsi disebabkan oleh pemikiran pribadi 10%, internet 3%, dan guru 1%. Miskonsepsi tertinggi ditemukan pada indikator sub materi pengaruh luas permukaan terhadap laju reaksi dengan persentase senilai 16%.